薄膜バルク音響共振器における上部電極形状がクオリティファクターに与える影響
薄膜バルク音響共振器における上部電極形状がクオリティファクターに与える影響
复制标题
薄膜体声谐振器上电极形状对品质因数的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Terumitsu Tanaka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Terumitsu Tanaka
