逐次浸透合成によるポジ型電子線レジストの有機－無機ハイブリッド化
逐次浸透合成によるポジ型電子線レジストの有機－無機ハイブリッド化
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顺序渗透合成正电子束抗蚀剂的有机-无机杂化
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中川勝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
尾崎優貴;伊東駿也;廣芝伸哉;中村貴宏;中川勝
