In-line NH3 Reactant Analysis on Nitride Semiconductor Metalorganic Vapor Phase Epitaxy via High-Resolution Mass Spectrometry
In-line NH3 Reactant Analysis on Nitride Semiconductor Metalorganic Vapor Phase Epitaxy via High-Resolution Mass Spectrometry
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通过高分辨率质谱对氮化物半导体金属有机气相外延进行在线 NH3 反应物分析
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Y. Honda and H. Amano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Nitta;K. Nagamatsu;R. Miyagoshi;Z. Ye;H. Nagao; S. Miki;H. Y. Honda and H. Amano
