High-Performance Cutting of Micro Patterns
High-Performance Cutting of Micro Patterns
复制标题
微图案的高性能切割
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
O. Gümmer
中科院分区：
文献类型：
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作者：
B. Denkena;J. Köhler;T. Mörke;O. Gümmer
