Research of New Technology for Arbitary 3D Structure Using SR Lithography

Research of New Technology for Arbitary 3D Structure Using SR Lithography
复制标题

SR光刻任意3D结构新技术研究

DOI：
--
复制
发表时间：
2008
期刊：
MEMOIRS OF THE SR CENTER, RITSUMEIKAN UNIVERSITY 10
影响因子：
--
通讯作者：
S. Sugiyama
S. Sugiyama
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
M. Horade;S. Kajita;S. Sugiyama

文献摘要

相似文献