Precision tracking control of a biaxial piezo stage using repetitive control and double-feedforward compensation
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DOI：
10.1016/j.mechatronics.2010.11.002
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发表时间：
2011-02
期刊：
影响因子：
3.3
通讯作者：
Chi-Ying Lin;Po-Ying Chen
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chi-Ying Lin;Po-Ying Chen
