白色光源による正弦波状波長走査干渉計を用いた薄膜形状計測
白色光源による正弦波状波長走査干渉計を用いた薄膜形状計測
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使用白光源的正弦波扫描干涉仪进行薄膜形状测量
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上野浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
上野浩
