高密度プラズマ技術による炭素系素材のエッチング・アッシング
高密度プラズマ技術による炭素系素材のエッチング・アッシング
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利用高密度等离子体技术对碳基材料进行蚀刻和灰化
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杉田良雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
相澤龍彦;杉田良雄
