液体窒素中でのパルスレーザー照射によるSiC表面窒化特性
液体窒素中でのパルスレーザー照射によるSiC表面窒化特性
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液氮中脉冲激光辐照SiC表面氮化性能
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
嶋林 正晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
嶋林 正晴
