面領域の表面性状測定機を対象とした測定標準に関する研究-第1報粗さ測定用標準面の設計-

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表面积表面粗糙度测量仪器测量标准的研究 第1部分:粗糙度测量标准表面的设计

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
精密工学会誌
影响因子:
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通讯作者:
吉田一朗
吉田一朗
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
根本賢太郎;柳和久;明田川正人;内舘道正;吉田一朗

文献摘要

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