SiO2上に形成したニッケルシリサイド薄膜の膜厚が表面形態・結晶相へ与える影響
SiO2上に形成したニッケルシリサイド薄膜の膜厚が表面形態・結晶相へ与える影響
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SiO2上硅化镍薄膜膜厚对表面形貌和晶相的影响
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮﨑 誠一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木村 圭佑;田岡 紀之;西村 駿介;大田 晃生;牧原 克典;宮﨑 誠一
