T. Wadayama: "Real-time IR and mass spectroscopic study of the reaction process of WF6 and a-Si : H : F" Thin Solid Films. 250. 81-86 (1995)
T. Wadayama: "Real-time IR and mass spectroscopic study of the reaction process of WF6 and a-Si : H : F" Thin Solid Films. 250. 81-86 (1995)
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T. Wadayama：“WF6 和 a-Si : H : F”固体薄膜反应过程的实时红外和质谱研究。
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