ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第2報,集束イオンビームを利用した3時元微細構造形成の可能性)
ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成(第2報,集束イオンビームを利用した3時元微細構造形成の可能性)
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结合纳米级加工和化学蚀刻形成三维超精细结构（第 2 部分，使用聚焦离子束形成三维超精细结构的可能性）
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮本岩男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川堰宣隆;柴田浩一;森田昇;芦田極;谷口淳;宮本岩男
