豊田他: "多結晶シリコン薄膜の低温形成用誘導結合シランプラズマの診断" 第45回応用物理学会学術講演会予稿集. 1. 78-78 (1998)
豊田他: "多結晶シリコン薄膜の低温形成用誘導結合シランプラズマの診断" 第45回応用物理学会学術講演会予稿集. 1. 78-78 (1998)
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Toyoda等人：“用于低温形成多晶硅薄膜的感应耦合硅烷等离子体的诊断”第45届日本应用物理学会年会论文集1. 78-78 (1998)。
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