Observation of SiO_2/Si Surface under Co-incidence of Fluorocarbon Molecules and Energetic Argon Ions
Observation of SiO_2/Si Surface under Co-incidence of Fluorocarbon Molecules and Energetic Argon Ions
复制标题
氟碳分子与高能氩离子重合下SiO_2/Si表面的观察
DOI：
--
复制
发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H.Sugai
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
N.Takada;H.Toyoda;H.Sugai
