Radiation effects on compound formation in palladium-implanted silicon using a focused ion beam machine
Radiation effects on compound formation in palladium-implanted silicon using a focused ion beam machine
复制标题
使用聚焦离子束机辐射对注入钯的硅中化合物形成的影响
DOI：
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发表时间：
1989
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Corelli
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Balakrishnan;K. Rajan;J. Corelli
