NおよびAlをドープした6H-SiCの光学特性評価
NおよびAlをドープした6H-SiCの光学特性評価
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N、Al掺杂6H-SiC光学性能评价
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
赤崎勇
中科院分区:
文献类型:
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作者:
三好晃平;上山智;岩谷素顕;天野浩;赤崎勇