Effect of parameters setting on nano-columnar DLC film formation

Effect of parameters setting on nano-columnar DLC film formation
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参数设置对纳米柱状DLC薄膜形成的影响

DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
Proc.5^<th> SEATUC Symposium
影响因子：
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通讯作者：
T.Uematsu
T.Uematsu
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
F.J;Hoe;T.Aizawa;T.Uematsu

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