Siに形成したマイクロアレイの摩擦摩耗特性に及ぼす形状及び密度の影響
Siに形成したマイクロアレイの摩擦摩耗特性に及ぼす形状及び密度の影響
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形状和密度对硅上微阵列摩擦磨损特性的影响
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
府玻亮太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Mazaki A. Tabata;A. Kitagawa A. Kondo;Itaru Yamaguchi;府玻亮太郎
