H.Satoh,;M.Owari,;Y.Hihei.: J.Vac.Scie.＆ Technol.B6. 915-918 (1988)
H.Satoh,;M.Owari,;Y.Hihei.: J.Vac.Scie.＆ Technol.B6. 915-918 (1988)
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H.Satoh，；M.Owari，；Y.Hihei.：J.Vac.Scie.＆Technol.B6 915-918（1988）
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