Curvature Controlled Microstructures for Improved Triaxial Sensitivity in Piezoelectric Vibratory Cantilever-Type Tactile Sensors Based on Resonant Frequency Shift
Curvature Controlled Microstructures for Improved Triaxial Sensitivity in Piezoelectric Vibratory Cantilever-Type Tactile Sensors Based on Resonant Frequency Shift
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基于谐振频移的曲率控制微结构可提高压电振动悬臂梁式触觉传感器的三轴灵敏度
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hikaru Tanaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Noda;K. Sasagawa;T. Tokuda;Y. Terasawa;H. Takashiro;H. Kanda;T. Fujikado;and J. Ohta;Hikaru Tanaka
