木下浩一、高谷裕浩、三好隆志: "光逆散乱位相法による微細加工形状の測定評価に関する研究-周期的2次元形状の場合-" 日本機械学会関西支部第70期定時総会講演会. 大阪. 153-1552 (1995)
木下浩一、高谷裕浩、三好隆志: "光逆散乱位相法による微細加工形状の測定評価に関する研究-周期的2次元形状の場合-" 日本機械学会関西支部第70期定時総会講演会. 大阪. 153-1552 (1995)
复制标题
Koichi Kinoshita、Hirohiro Takatani、Takashi Miyoshi：“利用光学逆散射相位法测量和评估微加工形状的研究 - 周期性二维形状的情况 -” 在第 70 届关西分会年会上的演讲日本机械工程师学会，大阪 153-1552 (1995)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
