Effect of annealing on the composition and structure of HfO2 and nitrogen-incorporated HfO2
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DOI：
10.1016/j.tsf.2004.05.030
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发表时间：
2004-09
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
C. C. Yeo-C.;Moon Sig Joo;Byung Jin Cho;Sung Jin Whang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. C. Yeo-C.;Moon Sig Joo;Byung Jin Cho;Sung Jin Whang
