M.Koyama: "Influence of near-surface defects in Si induced by reactive ion etching on the electrical properties of the Pt/b-Si interface"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol.36. 6682-6686 (1997)
M.Koyama: "Influence of near-surface defects in Si induced by reactive ion etching on the electrical properties of the Pt/b-Si interface"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol.36. 6682-6686 (1997)
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M.Koyama：“反应离子蚀刻引起的 Si 近表面缺陷对 Pt/b-Si 界面电性能的影响”Jpn。
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