Backside emitting silicon photonic beam steering module for LIDAR application
Backside emitting silicon photonic beam steering module for LIDAR application
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用于激光雷达应用的背面发射硅光子光束控制模块
DOI：
10.1109/gfp51802.2021.9673851
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Chen X
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chen X
