J.Hasegawa, K.Horioka, et.al.: "Transport Efficiency of Electron Beams of Large Area Excimer Diode" Proc.IEEJ Plasma Seminar. EP-93-39. 37-45 (1993)
J.Hasegawa, K.Horioka, et.al.: "Transport Efficiency of Electron Beams of Large Area Excimer Diode" Proc.IEEJ Plasma Seminar. EP-93-39. 37-45 (1993)
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J.Hasekawa、K.Horioka 等人：“大面积准分子二极管电子束的传输效率”Proc.IEEJ 等离子体研讨会。
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