阿部崇広, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲: "暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第3報)-暗視野検出部の改善-"2001年精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 大阪. 631-631 (2001)
阿部崇広, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲: "暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第3報)-暗視野検出部の改善-"2001年精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 大阪. 631-631 (2001)
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Takahiro Abe、Takashi Miyoshi、Hirohiro Takatani、Satoshi Takahashi：《利用暗场环形光学系统进行硅晶圆加工表面缺陷测量的研究（第3次报告）-暗场检测部分的改进-》2001年精密工程学会论文集秋季学术会议。631-631（2001）
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