ミアンダ構造高可変率MEMSインダクタ
ミアンダ構造高可変率MEMSインダクタ
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曲折结构高可变速率 MEMS 电感器
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
益一哉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
水落裕;天川修平;石原昇;益一哉
