K. Teshima, Y. Inoue, H. Sugimura, O. Takai: "In situ Observation of Plasma States and Characterization of Silica Films in Low-temperature Plasma-enhanced CVD"Proc. 2nd Int. Conf. Silica. 199p.pdf. 1-4 (2001)
K. Teshima, Y. Inoue, H. Sugimura, O. Takai: "In situ Observation of Plasma States and Characterization of Silica Films in Low-temperature Plasma-enhanced CVD"Proc. 2nd Int. Conf. Silica. 199p.pdf. 1-4 (2001)
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K. Teshima、Y. Inoue、H. Sugimura、O. Takai：“低温等离子体增强 CVD 中等离子体状态的原位观察和二氧化硅薄膜的表征”Proc。
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