φ100mm均一強度イオンビームによる軟X線多層膜鏡波面補正ミリング装置の開発
φ100mm均一強度イオンビームによる軟X線多層膜鏡波面補正ミリング装置の開発
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利用φ100mm均匀强度离子束软X射线多层膜镜波前校正铣削装置的研制
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
戸坂亜希
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Watanabe;H. Kimura;T. Tsuru;T. Hatano;T. Tsuru;Tadashi Hatano;Takeo Ejima;Toshihide Tsuru;Toshihide Tsuru;E. Majkova;羽多野忠;T. Hatano;原田哲男;羽多野 忠;戸坂亜希
