Fabrication of self-ordered nanohole arrays on Si by localized anodization and subsequent chemical etching
Fabrication of self-ordered nanohole arrays on Si by localized anodization and subsequent chemical etching
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通过局部阳极氧化和随后的化学蚀刻在硅上制造自序纳米孔阵列
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Asoh;A.Oide;S.Ono
