HF-KMnO4混合液を用いたGaAsの金属触媒エッチング
HF-KMnO4混合液を用いたGaAsの金属触媒エッチング
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使用 HF-KMnO4 混合物金属催化蚀刻 GaAs
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
今井涼太，橋本英樹，阿相英孝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Imai;H. Hashimoto and H. Asoh;原田崇史，早川邦夫，久保田義弘，和久田顕人;今井涼太，橋本英樹，阿相英孝
