Y.Funato: "Distributions of Plasma Parameters in a Sputter Discharge" Proc.XXIII.Int.Conf.on Phenomena Ionized Gases,Toulouse(1997). (to be published). (1997)
Y.Funato: "Distributions of Plasma Parameters in a Sputter Discharge" Proc.XXIII.Int.Conf.on Phenomena Ionized Gases,Toulouse(1997). (to be published). (1997)
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Y.Funato：“溅射放电中等离子体参数的分布”Proc.XXIII.Int.Conf.on Phenomena Ionized Gases，图卢兹（1997）。
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