光ファイバプローブを用いた微小径穴の形状精度測定技術
光ファイバプローブを用いた微小径穴の形状精度測定技術
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光纤探针微径孔形状精度测量技术
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
近藤英二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
村上洋;甲木昭雄;鬼鞍宏猷;佐島隆 生;皮籠石紀雄;近藤英二
