用于纳米测量的集成化单频激光干涉仪
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
苑勇贵
中科院分区：
文献类型：
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作者：
韩春阳;吴冰;苑立波;杨军;王坚;李立艳;苑勇贵
