MEMS技術を用いたECFマイクロモータ
MEMS技術を用いたECFマイクロモータ
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采用MEMS技术的ECF微电机
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
枝村一弥
中科院分区：
文献类型：
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作者：
金俊完;横田眞一;吉田和弘;枝村一弥
