Pneumatic MEMS In-Channel Microvalves with In-Plane Control Ports for Micro Fluidic Systems Integrated on a Chip Surface
Pneumatic MEMS In-Channel Microvalves with In-Plane Control Ports for Micro Fluidic Systems Integrated on a Chip Surface
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具有面内控制端口的气动 MEMS 通道内微型阀，用于集成在芯片表面上的微流体系统
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Ishida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Takao;M.Ishida
