MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報）―表面荒れを抑えた探針製作法―
MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報）―表面荒れを抑えた探針製作法―
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应用MEMS技术的多点扫描形状测量用多悬臂梁的开发（第4次报告） - 抑制表面粗糙度的探针制作方法 -
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂本憲児
中科院分区：
文献类型：
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作者：
殘華智仁;清水浩貴;田丸雄摩;坂本憲児
