M. Shikida, et al.: "Comparison of Anisotropic Etching Properties between KOH and TMAH Solutions"Proc. of IEEE Int. MEMS-99. 1/17-21, Orland. 315-320 (1999)
M. Shikida, et al.: "Comparison of Anisotropic Etching Properties between KOH and TMAH Solutions"Proc. of IEEE Int. MEMS-99. 1/17-21, Orland. 315-320 (1999)
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M. Shikida 等人：“KOH 和 TMAH 溶液各向异性蚀刻性能的比较”Proc。
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