森田瑞穂: "赤外線加熱工学ハンドブック 極薄シリコン酸化膜形成への応用"アグネ技術センター. 118-126 (2003)
森田瑞穂: "赤外線加熱工学ハンドブック 極薄シリコン酸化膜形成への応用"アグネ技術センター. 118-126 (2003)
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Mizuho Morita：“红外加热工程手册：应用于超薄氧化硅膜形成”Agne技术中心118-126（2003）。
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