堀内敏行,成田剛: "光リソグラフィによる集積回路微細パタン転写の高密度化に関する研究"双葉電子記念財団年報. No.5. 124-129 (1999)
堀内敏行,成田剛: "光リソグラフィによる集積回路微細パタン転写の高密度化に関する研究"双葉電子記念財団年報. No.5. 124-129 (1999)
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Toshiyuki Horiuchi、Tsuyoshi Narita：“利用光刻技术对集成电路中精细图案进行高密度转移的研究”双叶电子纪念基金会年度报告第 5. 124-129 号（1999 年）。
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