Shin-ichi Imai: "Analysis of Product Species in Capacitively Coupled C_5F_8 Plasma by Electron Attachment Mass Spectroscopy"Jpn. J. Appl. Phys.. 38.8A. L888-L891 (1999)
Shin-ichi Imai: "Analysis of Product Species in Capacitively Coupled C_5F_8 Plasma by Electron Attachment Mass Spectroscopy"Jpn. J. Appl. Phys.. 38.8A. L888-L891 (1999)
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Shin-ichi Imai：“通过电子附着质谱分析电容耦合 C_5F_8 等离子体中的产物种类”Jpn。
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