異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合-
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合-
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异构功能器件集成技术基础以及 MEMS、NEMS、传感器和 CMOS LSI 的应用融合
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
益一哉,秦誠一,他31名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
杉本亮;鍋島陽一;吉田松生;横田知之;益一哉,秦誠一,他31名
