吸着対象物としてのポリマーフィルムの表面導電性が双極型静電吸着デバイスの発生力に与える影響
吸着対象物としてのポリマーフィルムの表面導電性が双極型静電吸着デバイスの発生力に与える影響
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吸附目标聚合物薄膜表面电导率对双极静电吸附装置产生力的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
齊藤 滋規.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
ジェレミー ガブリエル;田岡 祐樹;齊藤 滋規.
