Low-temperature solid-phase crystallization of a-Si1−xGex on SiO2 by ion-beam stimulation
Low-temperature solid-phase crystallization of a-Si1−xGex on SiO2 by ion-beam stimulation
复制标题
离子束刺激在 SiO2 上低温固相结晶 a-Si1−xGex
DOI：
10.1016/s0921-5107(01)00770-x
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发表时间：
2002
影响因子：
3.6
通讯作者：
M. Miyao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I. Tsunoda;T. Nagata;A. Kenjo;T. Sadoh;M. Miyao
