遷移金属ダイカルコゲナイド援用シリコンエッチング
遷移金属ダイカルコゲナイド援用シリコンエッチング
复制标题
过渡金属二硫属化物辅助硅蚀刻
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本快知，窪田航，宇都宮徹，一井崇，杉村博之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Morita;H. Yoshida;B.-N. Kim;中山 将伸;山本快知，窪田航，宇都宮徹，一井崇，杉村博之
