DCマグネトロンスパッタ法によるMg系透明導電膜の合成とその特性評価
DCマグネトロンスパッタ法によるMg系透明導電膜の合成とその特性評価
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直流磁控溅射法制备镁基透明导电薄膜及其性能评价
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
久慈俊郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋拓也;高橋良輔;本城貴充;久慈俊郎
