スパッタエッチングにより形成された円錐状突起物のコーティング下地としての応用

スパッタエッチングにより形成された円錐状突起物のコーティング下地としての応用
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溅射蚀刻形成的圆锥形凸起作为涂层基底的应用

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
加藤 昌彦
加藤 昌彦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y. Wu;T. Sato;J. Qiu and W. Lin;加藤昌彦;M. Fujimoto and Y. Ichida;Jianhui Qiu;加藤 昌彦

文献摘要

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