熱ナノインプリント法による原子ステップ型超平坦ポリマー基板上への半導体ナノパターンの作製
熱ナノインプリント法による原子ステップ型超平坦ポリマー基板上への半導体ナノパターンの作製
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使用热纳米压印方法在原子级超平坦聚合物基底上制造半导体纳米图案
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
後藤里沙・金子智・松田晃史・吉本護
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木下 太一郎;嶋田 航大;金子 智;松田 晃史;吉本 護;後藤里沙・金子智・松田晃史・吉本護
