CF3Iの分解生成物の沿面放電に与える影響
CF3Iの分解生成物の沿面放電に与える影響
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CF3I分解产物对沿面放电的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
日高邦彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
武田敏信;宇尾寛志;松岡成居;熊田亜紀子;日高邦彦
